Ulrich Dilthey (EDT), Anette Brandenburg (EDT) Montage hybrider Mikrosysteme

Annotation

Das Buch beschreibt die Technologien rund um die Montage hybrider Mikrosysteme. Nicht der Entwurf oder das Mikrosystem als solches stehen im Vordergrund, sondern die Fertigungstechnologien zu ihrer Beherrschung. Neben den reinen Fugeverfahren werden die Handhabung sowie die Prozessuberwachung und -steuerung, die Sensorentwicklung und -integration und die zu verwendenden Werkstoffe behandelt. Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fugetechnologien fur hybrid aufgebaute, nicht fur monolithische Mikrosysteme. Es dient dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstutzendes Werkzeug fur die Auswahl des aus technologischer Sicht pradestinierten Verfahrens fur hybride Mikrosysteme.